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액침 노광

색인 액침 노광

액침 노광에서 빛은 렌즈와 물을 통과하여 웨이퍼 위의 포토레지스트로 도달한다. 액침 노광은 렌즈와 웨이퍼 표면 사이의 공간을 굴절률이 큰 액체의 매질로 대체하여 포토리쏘그래피의 분해능을 증가시키는 기술이.

2 처지: 니콘, 캐논.

니콘

()은 광학과 영상에 특화된 일본 기업이.

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캐논

도쿄도 오타 구에 위치한 캐논 본사 사옥 캐논 주식회사()는 영상 및 광학 기기에 특화된 일본의 다국적 기업이.

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Immersion Lithography, 이머전 리쏘그래피, 액침노광.

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