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박막
박막(薄膜, Thin film)은 기계가공으로는 만들 수 없는, 두께가 μm 이하인 얇은 막을 의미.
스퍼터링
일반적인 스퍼터링 시스템 스퍼터링(Sputtering)은 집적회로 생산라인 공정에서 많이 쓰이는 진공 증착법의 일종으로 비교적 낮은 진공도에서 플라즈마를 이온화된 아르곤 등의 가스를 가속하여 타겟에 충돌시키고, 원자를 분출시켜 웨이퍼나 유리 같은 기판상에 막을 만드는 방법을 뜻. 스퍼터링 장비에서는 타겟쪽을 음극(Cathode)로 하고 기판쪽을 양극(Anode).
엑스선 회절
X선을 결정에 조사하면 브래그 법칙을 만족시킨 방향에만 X선이 회절되어 결정구조를 반영시킨 패턴이 생긴다. X선 회절(X‐ray diffraction, XRD)은 결정격자를 통과한 X선의 회절을 나타낸 영상이.
새로운!!: 초격자와 엑스선 회절 · 더보기 »
합금
합금(合金)은 금속에 다른 금속 또는 원소를 합쳐서 얻는 금속 성질을 띤 물질을 말. 원래의 금속과는 다른 특성을.
